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氣體 質量流量計/控制器
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負壓或真空腔室用的氣體質量流量計及MFC: ◆精度更高,響應更快,帶網口; ◆管狀分流,不易堵塞; ◆適用于各種低壓和高壓管道,以及抽真空的環境; ◆預熱時間短,零漂小,可靠性高; ◆模擬量輸入/輸出可使用二次表或流量計算機控制和顯示流量; ◆數字通訊RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等協議可選;
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